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GSHD-EtherCAT系列驅(qū)動器|全閉環(huán)立式龍門機構(gòu)中的應(yīng)用

2022-05-28 mktadmin

晶圓是制造半導(dǎo)體器件的基礎(chǔ)性原材料。極高純度的半導(dǎo)體經(jīng)過拉晶、切片等工序制備成為晶圓，晶圓經(jīng)過一系列半導(dǎo)體制造工藝形成極微小的電路結(jié)構(gòu)，再經(jīng)切割、封裝、測試成為芯片，廣泛應(yīng)用到各類電子設(shè)備當(dāng)中。受終端半導(dǎo)體市場需求上行影響，半導(dǎo)體晶圓制造產(chǎn)能也隨之提升。

設(shè)備主要結(jié)構(gòu)

此設(shè)備采用GEN插卡式運動控制器+GSHD雙驅(qū)+多摩川TBL-is系列伺服電機的運動控制方式，外加雷尼紹RH200系列0.5微米的光柵尺系統(tǒng)，實現(xiàn)全閉環(huán)控制，配置主流的EtherCAT總線通信方式，驅(qū)動固高GSHD驅(qū)動器，采用龍門同步加上全閉環(huán)的控制方式，實現(xiàn)同步壓料以及切割。

運動控制系統(tǒng)架構(gòu)

——案例展示——

客戶需求設(shè)備運行穩(wěn)定

1、加速度需求為50r/s2；

2、速度需求600rpm；

3、速度波動不能超過±10rpm；

4、整定精度需求在10um內(nèi)；

5、速度波動在需求內(nèi)。

速度波動曲線

GSHD龍門優(yōu)勢：

1、雙軸耦合控制，兩個軸平均值代表系統(tǒng)質(zhì)心，差值代表龍門偏差；

2、一個通道指令輸入，從軸跟隨，精度高，響應(yīng)快；

3、調(diào)試簡單，配置迅速。只需要配置主驅(qū)動器和控制卡的通信；

4、回零，自動對齊，保護等高級功能；

5、支持主從軸同步誤差補償。

GSHD驅(qū)動器抗干擾能力強，功能多，調(diào)試便捷，能夠快速的完成基本的調(diào)試；GSHD驅(qū)動器的龍門調(diào)試簡單便捷，從軸跟隨主軸的方式，只需要調(diào)整主軸的性能即可，大大節(jié)省了調(diào)試驅(qū)動器的時間。龍門的扭擺控制，可以實時糾正兩個軸的同步，使得同步精度更高；而GSHD驅(qū)動器的全閉環(huán)配置簡單，加上全閉環(huán)控制，讓設(shè)備精度更高。

使用固高自主研發(fā)driverstudio驅(qū)動器調(diào)試軟件，能夠更加方便的采集并分析曲線，采樣頻率能達到62.5us，能夠直觀的分析驅(qū)動器之間的協(xié)調(diào)性。

GSHD良好的速度跟隨，快速的整定，能夠在讓設(shè)備運行更加的平穩(wěn)，更快的整定到位。龍門的同步性好，主從跟隨強，下圖是設(shè)備在運行到位時的波形圖，20ms整定到5um內(nèi)，同步誤差也在5um內(nèi)。